【OTFC系列】
OTFC系列是用於生產红外線截止濾光片、
分色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。
OTFC-1100 OTFC-1300 OTFC-1550 OTFC-1800
【Gener系列】
本裝置是為减反射光學薄膜的大批量生產而設計製作的光學鍍膜機。
【RPD系列】
RPD系列是一種低成本的高性能LED功能薄膜（ITO / AlN）
它是一種可以批量生產的反應性等離子體沉積系統。
【NSC系列】
NSC系列是金屬（金屬）模式濺射方法和高反應性等離子體
它是一種用於大規模生產的光學薄膜濺射系統，它結合了各種來源。高吞吐量
配備負載鎖定機制實現。
【COFC系列】
本裝置是由加熱輔助室1，蒸鍍室,加熱輔助室2構成的3真空室式連續光
學多層膜真空鍍膜機，鍍膜時可以做到不破壞真空室的真空，連續地投
入工件架，為全自動，多層光學薄膜的大批量生產而設計制作的光學鍍
膜機。
【離子源系列】
OIS系列高性能離子源用於離子束輔助鍍膜(IAD)的真空蒸發裝置，根據裝置尺寸和用途可適用OIS系列中不同離子源
【光控系列】
本光學膜厚監控系列的波長範圍在220-5500nm，可選不同的監控方式、測定方式和解析度。新開發的「直接透過式監控儀」可直接監控成膜過程中旋轉基板上的光學膜厚。
